MN3(4)E-PLC對應型模塊集成閥

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採用盒式設計，是進一步實現了小型化（高39.5mm）的高性能3・4通模塊集成閥。
【適用缸徑：Φ20～Φ40】

行業 : 半導體製造工序(前工序) 化學液體供給設備用元件化學氣體供給設備用元件氮氣清洗關聯元件